• 分類：公司新聞
• 發(fā)布時間：2022-10-09
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【概要描述】 為了培育選樹具有行業(yè)頂尖技能水平的科技創(chuàng)新先進典型，大力弘揚勞模精神、勞動精神、工匠精神和科學家精神，進一步激發(fā)廣大科技工作者建功立業(yè)的積極性、主動性和創(chuàng)造性，10月8日，中國科學院工會舉辦中國科學院第三屆“科苑名匠”發(fā)布活動，全院共12個團隊和7名個人被授予中國科學院第三屆“科苑名匠”稱號?？泼耠娮佣麻L夏洋榮獲中國科學院第三屆“科苑名匠”稱號。
夏洋老師長期專注于集成電路技術(shù)及裝備研究，為微電子所儀器設備研發(fā)中心創(chuàng)始人、嘉興科民電子設備技術(shù)有限公司董事長，帶領研究團隊瞄準國家戰(zhàn)略需求，突破了多項關(guān)鍵核心技術(shù)。他在不斷的努力與嘗試中攻堅克難，在多項國家重大科技計劃項目中承擔微電子儀器設備的研發(fā)工作，成功開發(fā)出原子層沉積系統(tǒng)、浸沒式等離子注入機、電感耦合等離子體刻蝕機、365納米i線曝光機等集成電路裝備，同時研發(fā)出原創(chuàng)變電場原子層沉積、吸附反應外延等裝備，實現(xiàn)了我國集成電路高端設備的重大突破。研發(fā)的儀器設備在國內(nèi)外科研單位銷售超千臺，有力的支撐了中科院、北京大學、清華大學等百余家高校院所的前沿科學研究，同時通過核心技術(shù)支持和促進了我國多家集成電路裝備龍頭企業(yè)的發(fā)展。作為一名老師，他為了能讓學生更直觀的了解和掌握微電子儀器操作方法，配套專業(yè)課程專門研發(fā)了集成電路系列科教融合設備，采用創(chuàng)新的“講授+實驗”教學模式，為集成電路工藝技術(shù)培養(yǎng)了大量的工程性專業(yè)人才。