為了促進(jìn)原子層沉積(ALD)領(lǐng)域科技工作者之間的溝通與交流，搭建高等院校、科研院所、相關(guān)企業(yè)的合作平臺(tái)，推動(dòng)我國(guó)ALD技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展及其產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，由中國(guó)科學(xué)院嘉興微電子儀器與設(shè)備工程中心提出申請(qǐng)，經(jīng)中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)研究決定：

　　同意成立原子層沉積專業(yè)委員會(huì)，中國(guó)科學(xué)院嘉興微電子儀器與設(shè)備工程中心作為專委會(huì)秘書處掛靠單位，我院夏洋研究員擔(dān)任主任委員，嘉興科民電子設(shè)備技術(shù)有限公司陳波擔(dān)任秘書長(zhǎng)，嘉興科民電子設(shè)備技術(shù)有限公司萬軍、賈毅擔(dān)任副秘書長(zhǎng)。

　　中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)唐逾副秘書長(zhǎng)在于2015年08月28日~29日杭州舉辦的首屆“中國(guó)ALD技術(shù)交流與學(xué)術(shù)研討會(huì)”上發(fā)表致辭，祝賀ALD專業(yè)分會(huì)的成立，向中國(guó)科學(xué)院嘉興微電子儀器與設(shè)備工程中心授牌，并向夏洋研究員頒發(fā)聘書，聘任夏洋研究員為ALD專業(yè)分會(huì)主任委員。在此，ALD專業(yè)分會(huì)誠(chéng)邀廣大業(yè)內(nèi)人士的加入。