11月21日，Nano Energy期刊上發(fā)表了Atomic Layer Deposition-Enabled Ultrastable Freestanding Carbon-Selenium Cathodes with High Mass Loading for Sodium-Selenium Battery的研究論文，論文報(bào)道了深圳大學(xué)在鈉-硒電池正極材料的最新研究成果。共同通訊作者為深圳大學(xué)的張培新教授與佐治亞理工學(xué)院的林志群教授，第一作者是深圳大學(xué)的馬定濤和李永亮博士。在此嘉興科民電子設(shè)備技術(shù)有限公司祝賀各位老師在高質(zhì)量電池領(lǐng)域取得了喜人成果。

　　圖1.（左）為深圳大學(xué)使用的嘉興科民電子設(shè)備技術(shù)有限公司生產(chǎn)的等離子增強(qiáng)型原子層沉積設(shè)備。（右）文章封面圖片：鈉-硒電池的氧化鋁包覆的硒/多孔氮摻雜碳納米纖維復(fù)合電極制備過程以及充放電循環(huán)穩(wěn)定性測試

　　研究人員在制備鈉-硒電池的氧化鋁包覆的硒/多孔氮摻雜碳納米纖維復(fù)合電極(SC@Se-Al2O3)中使用了嘉興科民電子設(shè)備技術(shù)有限公司生產(chǎn)的等離子增強(qiáng)型原子層沉積設(shè)備（PE-ALD），在納米纖維表面制備了納米級的氧化鋁(Al2O3)功能層，研究結(jié)果表面：原子層沉積(ALD)可以調(diào)節(jié)電極的電化學(xué)性能，提高活性物質(zhì)負(fù)載量和循環(huán)穩(wěn)定性，得到高負(fù)載量、高穩(wěn)定性、自支撐的碳-硒正極材料。經(jīng)過對各材料參數(shù)進(jìn)行試驗(yàn)后發(fā)現(xiàn)電子最優(yōu)性能為電極種硒含量為67 wt%, 表面包覆的Al2O3薄膜厚度為3 nm。該論文對未來高負(fù)載量、高穩(wěn)定性電極的研發(fā)指明了一個(gè)新的研究方向。

圖2.嘉興科民電子設(shè)備技術(shù)有限公司生產(chǎn)的（左）熱型原子層沉積設(shè)備（右）Loadlock生產(chǎn)型原子層沉積設(shè)備

圖3.嘉興科民電子設(shè)備技術(shù)有限公司生產(chǎn)的（左）高溫管式ALD設(shè)備（右）手套箱集成原位檢測原子層沉積設(shè)備