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科民電子集成電路科教融合全套設備助力教學模式創(chuàng)新
- 分類：新聞中心
- 發(fā)布時間：2022-03-25
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【概要描述】科民電子集成電路科教融合全套設備助力教學模式創(chuàng)新
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科民電子集成電路科教融合全套設備助力教學模式創(chuàng)新
3月24日，我司參加“國科雁棲科創(chuàng)沙龍”高端科學儀器國產(chǎn)化暨研產(chǎn)用實踐路徑研討會，并做題為“集成電路教學創(chuàng)新模式”的報告。
報告中詳細介紹了我司研發(fā)生產(chǎn)的國際首創(chuàng)集成電路科教融合全套裝備主要包括：曝光機、高密度等離子體刻蝕機、反應離子刻蝕機、磁控濺射、原子層沉積、等離子體氣相沉積等設備，具有安全可靠、可操作性強、低成本、易維護等特點，可實現(xiàn)從光刻到薄膜沉積的工藝教學與開發(fā)。
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