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熱烈祝賀科民電子20套集成電路設(shè)備成功進(jìn)入廈門大學(xué)產(chǎn)教融合平臺
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產(chǎn)品描述
參數(shù)
廈門大學(xué)國家集成電路產(chǎn)教融合創(chuàng)新平臺
科民電子集成電路產(chǎn)教融合成套設(shè)備含曝光機(jī)、雙腔ALD、PVD、ICP刻蝕機(jī)共20臺，助力廈門大學(xué)實(shí)現(xiàn)集成電路產(chǎn)教融合，培養(yǎng)高端集成電路工程人才。
ALD可更換雙腔結(jié)構(gòu)，勻氣內(nèi)腔，快速反應(yīng)，反應(yīng)溫度500℃
PVD無壓環(huán)進(jìn)口靶腔，自動匹配
曝光機(jī)集成度高，365nmLED光源，1μm曝光精度，操作方便
ICP刻蝕機(jī)全自動樣品傳輸系統(tǒng)，自動匹配
關(guān)鍵詞:
曝光機(jī)、雙腔ALD、PVD、ICP刻蝕機(jī)
未找到相應(yīng)參數(shù)組，請于后臺屬性模板中添加
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