具有LOAD-LOCK腔室的ALD機(jī)臺

　　近日，嘉興科民電子設(shè)備有限公司生產(chǎn)型原子層沉積設(shè)備成功通過大型微電子、MEMS制造企業(yè)產(chǎn)線驗證，成為國內(nèi)首個進(jìn)入大批量制造產(chǎn)業(yè)化市場的原子層沉積機(jī)型。

雙方工程師在ALD設(shè)備前合影留念

　　在生產(chǎn)線上，工廠技術(shù)人員及科民駐廠工程師對該機(jī)型進(jìn)行了3個月的嚴(yán)格驗證。均勻性、重復(fù)性、溝槽覆蓋性、顆粒度、生產(chǎn)效率、可靠性等方面的測試均表明，科民電子原子層沉積系統(tǒng)的設(shè)備質(zhì)量和技術(shù)指標(biāo)達(dá)到了國際領(lǐng)先水平，足以滿足大批量連續(xù)生產(chǎn)的需要。

　　科民電子原子層沉積系統(tǒng)在大規(guī)模生產(chǎn)線的成功驗證，打破了進(jìn)口設(shè)備在產(chǎn)業(yè)化市場的壟斷地位，替代了相關(guān)行業(yè)的進(jìn)口設(shè)備，是微電子、MEMS、光伏、LED等行業(yè)技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)升級的重要動力。